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沉积设备和沉积方法.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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沉积设备和沉积方法.pdf

    提供了一种沉积设备和沉积方法，所述沉积设备包括：掩模；掩模框架；平台，设置在掩模框架的后表面上；以及第一外力施加部至第三外力施加部，设置在平台上。第一部分和第二部分中的每个包括支撑件和使支撑件移动的驱动部。第一外力施加部至第三外力施加部向掩模框架施加外力以控制掩模框架的形状。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117626215A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311107547.7

    (22)申请日2023.08.30

    (30)优先权数据

    10-2022-0109212

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