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添加氩至远程等离子体氧化.pdfVIP

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    提供结构的共形自由基氧化的方法。在一个实施方式中，方法包括以第一流率将氢流入处理腔室，其中处理腔室具有定位在其中的基板。方法进一步包括以第二流率将氧流入前驱物活化器。方法进一步包括以第三流率将氩流入前驱物活化器。方法进一步包括在前驱活化器中从氧和氩产生等离子体。方法进一步包括将等离子体流入处理腔室，其中等离子体与氢气混合以创造活化处理气体。方法进一步包括使基板暴露于活化气体以在基板上形成氧化物膜。通过调整第三流率而控制氧化物膜的生长速率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117637438A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311527074.6(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

    (22)申请日2018.12.

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