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玻璃基微环谐振器设计与制作.pdfVIP

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  • 2024-03-05 发布于北京
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玻璃基微环谐振器设计与制作.pdf

    高密度平面光集成及与IC工艺相兼容是当前光波导技术发展的重要方

    向之一。由于微环结构的功能多样性、结构紧凑性、很好的波长选择性，使其成

    为很有潜力的集成光路基本功能结构。随着平面工艺水平的不断提高，基于平面

    波导技术的光微环谐振器逐渐受到人们的关注和研究，并得以迅速发展。微环结

    构在光电子领域的地位就像晶体管在电子领域一样，几乎所有光电器件功能都可

    以使用微环实现。使用玻璃基离子交换工艺制作的大半径无源环谐振器可作为惯

    性旋转传感器、波长传感器、温度传感器、声波传感器和光学陀螺等，具有重要

    的应用价值。

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