日本电子JSM6510样本-扫描电子显微镜的简介及操作指导.pdf

欢迎探索微观世界

扫描电子显微镜拉近了纳米微观世界和人类的距离。

扫描电子显微镜(SEM)具有很大的放大倍率范围,既可以观察近似裸眼所看到的完整视野图像，也可以在

非常高倍下观察纳米结构。

扫描电子显微镜能够装配分析功能附件，进行亚微米区域的元素分析。

扫描电子显微镜目前已经成为科学研究和工业生产不可缺少的工具。

JSM-6510/JSM-6510LV扫描电子显微镜

(2)JSM-6510系列

JSM-6510A/JSM-6510LA

分析型扫描电子显微镜

分析型扫描电子显微镜标准装配

了JEOL生产的EDS系统，可以

同时进行图像观察和元素分析。

低真空扫描电子显微镜

JSM-6510LV/JSM-6510LA

可以观察和分析不导电样品。

最低放大倍率下的观察视野超过25mm宽度，易于找到目标区域。不改变聚焦状态的条件下可以连续改变放大倍率，

因此高倍下寻找目标区域既方便又快捷。

使用1kV的低加速电压能够观察样品的表面精细结构。1kV左右的加速电压也可以对不导电样品进行无喷镀观察。

样品：蒸金颗粒30kV0.2m样品：蒸金颗粒1kV1m

：500m：1mm

样品表面封装集成电路样品未脱壳大米

JSM-6510系列(3)

操作方便

样品室抽气完毕后即可开始图像观察。操作菜单客户快捷键

简单易懂，用户无须花费很多时间去了解。用户可以自定义操作界面上常用的功能图标。当你登录后，操作

简单点击高压(HT)图标打开电子源，电子源完全界面就变成用户事先设置的状态。

自动调整，用户马上可以开始观察图像。

（客户快捷键样板。可以增加EDS操作的图标）

操作导航

操作流程显示在操作导航区

内，简单易懂，只要根据操

作界面底部的标签就可以选

择各种功能。

操作面板*全屏显示实时图像

用一个鼠标即可以进行所有功能的操作。此外，用户也实时图像可以全屏显示，方便多人同时观察。

可以选用操作面板，使用旋钮来操作常用的调整功能。

操作面板

*选配（全屏实时图像显示）

(4)JSM-6510系列

方便的导航系统

样品安装导航

在实时图像观察区下面是操作导航区，该区域能够显示样品安装的流程，用户只要按照流程步骤操作即可。

样品台导航系统（SNS）*

选配样品台导航系统后，用户可以直接拍摄样品的彩色照片，并把此照片像作为样品台的导航图。

扫描电镜的图像也可复制后同样作为导航图。

样品室观察系统*

用户可以选装样品室观察系统，用于查看样品室内部的

情况。样品室相机拍摄的照片可以显示在操作界面上。

*选配

JSM-6510系列(5)

高质量的图像

标准菜单客户菜单

扫描电镜中的标准菜单列出了JEOL应用当用户发现自己的样品有更好的工作条件时，可以保存在客户菜单中