原创力文档- 17
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- 2024-03-06 发布于四川
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本申请提供一种精密气浮条上浮高度测量装置及测量方法。精密气浮条上浮高度测量装置包括：限位结构和测量结构，限位结构设置有沿竖直方向延伸的上浮通道，且限位结构的侧部设置有对应上浮通道的可视窗口；测量结构的至少部分对应设置在可视窗口，且测量结构对应可视窗口的部分设置有沿竖直方向延伸的刻度。当精密气浮条的送气孔向限位结构的上浮通道内送入气体后，上浮通道内的基板玻璃上浮，进而可以通过可视窗口观察上浮通道内的基板玻璃所在位置对应的测量结构上的刻度值，最后根据该刻度值确认基板玻璃的上浮高度，以得到精密气浮条的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117647169A
(43)申请公布日2024.03.05
(21)申请号202311408417.7
(22)申请日2023.10.26
(71)申请人甘肃光轩高端装备产业有限公司
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