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- 2024-03-06 发布于四川
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本说明书提供了一种气体温度控制方法、晶圆干燥装置及晶圆清洗设备，其中，所述气体温度控制方法通过获取目标晶圆干燥装置在当前工艺步骤中干燥气体的第一目标气体流量以及在下一工艺步骤中干燥气体的第二目标气体流量，在第一目标气体流量大于第二目标气体流量，且第一目标气体流量与第二目标气体流量的流量差大于或等于预设流量值时，基于第一目标气体流量和第二目标气体流量确定目标晶圆干燥装置中加热模块对应的提前关闭时长，以基于提前关闭时长控制加热模块在当前工艺步骤中停止对干燥气体加热，能够避免在下一工艺步骤运行过程中气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117650082A
(43)申请公布日2024.03.05
(21)申请号202311695999.1B08B13/00(2006.01)
(22)申请日2023.12.
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