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2024-03-06 发布于四川
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晶圆穿墙单元和涂胶显影设备.pdf

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本发明提供一种晶圆穿墙单元，应用于涂胶显影设备，包括：依次排列的驱动箱体、伸缩臂和真空手指；伸缩臂的数量为正整数；驱动箱体内设置有主动带组件和电机；主动带组件和伸缩臂通过滑动座组件固定连接；伸缩臂内设置的从动带组件；从动带组件和驱动箱体通过固定座组件连接；从动带组件与真空手指连接；真空手指用于装载晶圆，从动带组件用于驱动真空手指和晶圆从涂胶显影设备的第一模块移动至第二模块；当电机处于工作状态时，用于使主动带组件驱动滑动座组件和伸缩臂相对于驱动箱体以预设速度运动，同时固定座组件用于驱动从动带组件和

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117650090A

(43)申请公布日2024.03.05

(21)申请号202311526391.6

(22)申请日2023.11.15

(71)申请人沈阳芯源微电子设备股份有限公司

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