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- 2024-03-06 发布于四川
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本发明公开了一种基于磁控溅射气敏薄膜的单悬梁式气体传感器及其制造方法，属于微电子机械系统和气体检测技术领域。本发明提出将磁控溅射工艺制备的气敏薄膜与单悬梁式微热板集成，在实现小尺寸、低功耗的同时，与磁控溅射、图形化制备气敏薄膜的兼容性较好，具有可批量、可重复性好、气敏薄膜结构和成分均匀可控的优势；采用加热电极和测量电极共面设计，提高了生产效率，降低制造成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117647564A
(43)申请公布日2024.03.05
(21)申请号202311409128.9
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人北京大学
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