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MEMS结构，MEMS压电麦克风.pdfVIP

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  • 2024-03-06 发布于四川
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MEMS结构，MEMS压电麦克风.pdf

    本实用新型提供了一种MEMS结构，MEMS压电麦克风。该MEMS结构包括：衬底，包括：外围的衬底外环体；形成于衬底外环体内侧的衬底背腔；振动支撑层，形成于衬底外环体和衬底背腔上；下电极层、压电层、上电极层，依次形成于振动支撑层上；振动支撑层、下电极层、压电层、上电极层，四者位于衬底背腔上方的部分呈朝向远离衬底方向的弧形凸起形状。本实用新型具有预制上凸或者下凹形状的复合振动层在水平面内具有一定的伸缩变形能力，可以有效释放结构整体的残余应力。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220556746U

    (45)授权公告日2024.03.05

    (21)申请号202322122081.X

    (22)申请日2023.08.08

    (73)专利权人安徽奥飞声学科技有限公司

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