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离子直入装置用语

编号用语（英文/中文）用语说明

D4401Ionimplanter离子注入机是指对具有运动能量的离子加照射，为能将试

料的物性加控制的装置。此一装置是由离子源，提取电极系统，质量分析系统，注入室

等所构成。

D4402Lowenergyionimplanter低能量离子注入机是指离子能量（1价离子）

的最大值，在10Kev下的离子注入装置。

编号用语（英文/中文）用语说明

D4403Mediumenergyionimplanter中能量离子注入机是指离子能量（1价离

子）的最大值，超过10Kev而在250Kev下的离子注入装置。

D4404Lowcurrentionimplanter小电流离子注入机是指线束电流量的最大值，

未超过0.5mA的离子注入装置。

D4405Mediumcurrentionimplanter中电流离子注入机是指线束电流量的最

大值，在0.5mA~5mA的离子注入装置。

D4406Highcurrentionimplanter大电流离子植入机系指线速电流的最大值，

在5Ma上的离子