JJF 1916-2021扫描电子显微镜校准规范.pdf

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  •   |  2021-07-28 颁布
  •   |  2022-01-28 实施

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JJF19162021

扫描电子显微镜校准规范

1范围

本规范适用于扫描电子显微镜的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件:

—国家计量校准规范编写规则

JJF10712010

/—纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

GBT203072006

,;

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,()。

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

3术语和定义

下列术语和定义适用于本规范。

3.1标准样板referenceartifact

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