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本发明涉及一种分拣设备及晶粒分类机构，晶粒分类机构包括:安装板；设置在所述安装板上的压电驱动装置；杠杆装置，可转动地设置在所述安装板上；晶粒置放组件，设置在所述安装板上；以及复位装置；所述压电驱动装置与所述杠杆装置配合，且能驱动所述杠杆装置转动以推抵所述晶粒置放组件相对于所述安装板直线运动以远离或靠近所述安装板，所述复位装置对所述晶粒置放组件施加与所述直线运动的方向相反的回复力。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117654922A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211012361.9H01L21/67(2006.01)
(22)申请日2022.08.
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