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一种半导体结构,包括位于第一介电层中的第一下接触特征、位于第一介电层上的蚀刻停止层、形成于蚀刻停止层之上的金属绝缘体金属(MIM)电容器、形成于金属绝缘体金属电容器之上的第二介电层、延伸穿过第二介电层及金属绝缘体金属电容器并与第一下接触特征电性耦接的第一接触通孔、以及位于第一接触通孔之上并与第一接触通孔电性耦接的第一上接触特征,其中金属绝缘体金属电容器的底板与蚀刻停止层直接接触。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220569675U
(45)授权公告日2024.03.08
(21)申请号202321381667.1
(22)申请日2023.06.01
(30)优先权数据
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