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一种图像传感器形成方法及图像传感器.pdfVIP

一种图像传感器形成方法及图像传感器.pdf

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    本发明提供一种图像传感器的形成方法，所述图像传感器的像素区域周围包括至少一层隔热层，形成方法包括：于半导体衬底的正面形成浅沟槽隔离；根据预设的光刻图形，刻蚀所述半导体衬底的背面至所述浅沟槽隔离，于所述图像传感器像素区域周围形成第一沟槽；在所述第一沟槽表面形成第一介质层，并于所述第一沟槽中形成中空间隙，形成所述隔热层。本发明通过以上方法，能够很好地减少外围电路区域与像素区域之间的热量传递，提高图像传感器像素区域的性能。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117673096A

    (43)申请公布日2024.03.08

    (21)申请号202211021170.9

    (22)申请日2022.08.24

    (71)申请人格科微电子（上海）有限公司

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