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一种液态源蒸发罐设备、液态源蒸发罐的补液方法和装置.pdfVIP

一种液态源蒸发罐设备、液态源蒸发罐的补液方法和装置.pdf

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    本发明公开了一种液态源蒸发罐设备、液态源蒸发罐的补液方法和补液装置。液态源蒸发罐设备包括：储液区，其内部储存液态化学源；补液组件，位于储液区的下方，包括补液管道和加热装置，其中，补液管道的末端通过阀门连接储液区，用以同时容纳并传输提供给储液区的多次补液，加热装置设于补液管道的下方，用以预热补液管道内的多次补液，其中，对储液区的单次补液量低于储液区的总容积的千分之一。通过上述液态源蒸发罐设备，对于补液时机不再有限制要求，能够实现高频次小剂量的补液，并且对于补液部分能进行有效的预热，从而提升液态源蒸

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117654068A

    (43)申请公布日2024.03.08

    (21)申请号202311749158.4

    (22)申请日2023.12.18

    (71)申请人拓荆科技(上海)有限公司

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