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本说明书实施例一种真空规，涉及压力测试技术领域。真空规包括压力传感器、规前管及抑制沉积结构，通过在规前管中设置抑制沉积结构，可以有效抑制流入规前管气体流中的污染物质接触压力传感器的应变膜片。即气体流导过程中多次接触叶板表面，提前发生沉积，减少污染物质对应变膜片的直接接触，从而提高真空规的精度及稳定度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117664429A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211006678.1
(22)申请日2022.08.22
(71)申请人中国科学院微电子研究所
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