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一种用于DBS装置的柔性电极及加工方法.pdfVIP

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  • 2024-03-09 发布于四川
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一种用于DBS装置的柔性电极及加工方法.pdf

    本发明公开了一种用于DBS装置的柔性电极及加工方法，包括：在预处理后的硅基板上旋涂PR光刻胶，在PR光刻胶上方沉积柔性层，在柔性层上方再次旋涂PR光刻胶，按电极位置进行图形化掩膜曝光显影，通过溅射金属后，剥去上层的部分PR光刻胶，形成金属电极，在金属电极外侧再次沉积柔性层，将金属电极包覆后，对柔性层进行刻蚀，使得金属电极若干区域与外界接触，通过湿法刻蚀剥离硅基板，得到柔性电极，在柔性电极的电极引出端进行电镀形成接线端，与外部导线进行连接；该方法通过刻蚀工艺对柔性层进行加工，使柔性层内侧的金属电极

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117672620A

    (43)申请公布日2024.03.08

    (21)申请号202311622498.0

    (22)申请日2023.11.30

    (71)申请人首都医科大学附属

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