太阳能电池及其梯度温度沉积的扩散工艺.pdfVIP

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2024-03-09 发布于四川
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太阳能电池及其梯度温度沉积的扩散工艺.pdf

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本发明提供了一种太阳能电池及其梯度温度沉积的扩散工艺，涉及太阳能电池的技术领域，包括以下步骤：P型硅片在梯度升温的条件下先依次进行第一沉积、第二沉积以及第三沉积，然后进行推进制结，之后依次在790～810℃和760～780℃的温度下进行第四沉积和第五沉积，得到太阳能电池；其中，升温的梯度可以为8～12℃，第一沉积的温度不低于760℃。本发明解决了现有的PERC电池工艺存在的发射极掺杂浓度过高，导致表面复合增加，造成开路电压和短路电流降低的技术问题，达到了有效控制电池表面的掺杂浓度，降低光照区域的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117673204A

(43)申请公布日2024.03.08

(21)申请号202311672838.0

(22)申请日2023.12.06

(71)申请人衢州季丰检测技术

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