原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提出的供液装置及基板清洗方法。供液装置包括喷嘴，喷嘴的液体入口可采用切向进液方式，利用离心力促使气液分离；喷嘴的液体出口上方可以设置板状分离部或者筒状分离部，可以抑制气泡从液体出口排出；喷嘴的内部可以采用上、下腔室结构，上、下腔室均配置排气口，实现二次排气，上、下腔室还可以均配置液体入口，使处理液分两次混合，相比于处理液一次混合，气体生成量和生成速度均可降低；还包括控制部和液位传感器，控制部根据液位传感器获得的喷嘴内部液位检测信号调控喷嘴的排气管线上的调节阀开度，以使喷嘴内液位维持稳定，有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117672897A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211007381.7B08B3/08(2006.01)
文档评论（0）