原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种TiCN梯度结构阻氢涂层及其制备方法，将基材预处理后置于真空反应室，通入氢气和氩气混合气体，对基材和反应室腔体加热至沉积温度后进行保温；通入碳源、氮源、钛源和辅助气体，在基材表面进行化学气相沉积，沉积过程分为两个阶段，其中承载钛源的辅助气体流量恒定，第一沉积阶段碳源的流量大于氮源，第二沉积阶段氮源的流量大于碳源，得到梯度结构的沉积涂层；停止通入碳源、钛源和辅助气体，对沉积涂层进行冷却，冷却过程中停止通入氮源，随后冷却至室温，得到所述TiCN梯度结构阻氢涂层。可有效调控涂层组分变化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117660924A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211058226.8
(22)申请日2022.08.31
(71)申请人中国石油天然气集团有限公司
地址
您可能关注的文档
- 加湿模块、空气处理设备和加湿模块的控制方法.pdf
- 超导相变的建模方法和超导能级调制装置.pdf
- 等离子体控流装置、等离子刻蚀机及其均一性优化方法.pdf
- 一种密封装置、制造方法和车辆.pdf
- 车辆充放电系统、车辆及方法.pdf
- PECVD气体喷淋件、成膜系统及制造方法.pdf
- 消息显示方法、装置、消息处理方法、服务器及系统.pdf
- 集成灶及油烟净化方法.pdf
- 一种离心式油分离器及制冷系统.pdf
- 一种电极组件.pdf
- 第21课+南京国民政府的统治和中国共产党开辟革命新道路高一上学期统编版必修中外历史纲要上.pptx
- 2026届新高考地理热点冲刺复习常见外力地貌的形成.pptx
- 2026届新高考地理热点冲刺复习 生态脆弱区的综合治理——以我国荒漠化地区为例.pptx
- 解高考历史选择题时妙用标点符号-2026届高三统编版历史二轮复习.pptx
- 第22课+世界多极化与经济全球化-2025-2026学年高一下学期统编版必修中外历史纲要下.pptx
- 第5课+中国古代官员的选拔与管理高二上学期历史统编版选择性必修1.pptx
- 2026届新高考地理热点冲刺复习《水循环与水量平衡》.pptx
- 第21课+世界殖民体系的瓦解与新兴国家的发展+高一下学期统编版必修中外历史纲要下.pptx
- 2026届新高考历史热点冲刺复习和平发展合作共赢的历史潮流.pptx
- 2026届新高考历史热点冲刺复习亚非拉民族独立运动.pptx
文档评论（0）