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2024-03-09 发布于四川
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一种高精度气浮平台.pdf

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本实用新型公开了一种高精度气浮平台，包括大理石气浮基座、第一气浮固定块和第二大理石气浮导轨，所述大理石气浮基座的上表面固定有2个第一大理石气浮导轨，且第一大理石气浮导轨的表面固定连接有第一直线电机定子,所述第一直线电机定子的表面设置有空腔。该高精度气浮平台，设置有第一大理石气浮导轨和第二大理石气浮导轨，气浮导轨使用大理石研磨至超高精度，具有优良的热胀冷缩性能和优质的直线度及平面度可以替换超高精度UP精度等级及以上的直线导轨，并且大理石气浮导轨为导向作用具有超高的直线度和平面度，直线度保证平台在X

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220566433U

(45)授权公告日2024.03.08

(21)申请号202322182509.X

(22)申请日2023.08.15

(73)专利权人苏州玖钧智能装备有限公司

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