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本发明提供一种MEMS风速传感器及其制备方法，MEMS风速传感器包括衬底、质量块、连接梁、缓冲弹簧、第一线圈层、第一绝缘层和转子；所述衬底为中空的环形结构；所述质量块设置于所述环形结构的内侧；所述质量块上固定有连接梁，所述连接梁与所述衬底之间连接所述缓冲弹簧；所述第一绝缘层设置于所述衬底的上表面，所述第一线圈层设置于所述第一绝缘层，且所述第一线圈套设于所述质量块的外侧；所述转子固定于所述质量块，所述转子的材料为磁性材料。本发明的一个技术效果在于，结构设计合理，使用非常方便，不仅受环境温度的影响小
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115561481A
(43)申请公布日2023.01.03
(21)申请号202211242062.4
(22)申请日2022.10.11
(71)申请人南京高华科技股份有限公司
地址2
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