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一种光刻胶材料中痕量金属离子含量的检测方法.pdfVIP

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  • 2024-03-09 发布于四川
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一种光刻胶材料中痕量金属离子含量的检测方法.pdf

    本发明涉及一种光刻胶材料中痕量金属离子含量的检测方法，所述测试方法包括以下步骤：a)采用有机溶剂配置待测金属元素的至少5组不同离子浓度的标准溶液；b)使用电感耦合等离子体质谱仪测定标准溶液，得标准溶液各离子浓度对应的信号强度值；c)绘制待测金属元素的“离子浓度—信号强度值”的线性回归方程；d)采用有机溶剂溶解待测的光刻胶材料样品制备样品溶液，使用电感耦合等离子体质谱仪测定样品溶液，得各待测金属元素离子的信号强度值，并根据回归方程标准曲线计算出待测样品液中金属离子的浓度。本发明提供的检测方法有较高

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117665086A

    (43)申请公布日2024.03.08

    (21)申请号202311852930.5

    (22)申请日2023.12.29

    (71)申请人徐州博康信息化学品有限公司

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