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本实用新型公开一种微动平台。该微动平台包括，若干位移检测装置，分别与平台基体、移动平台固定连接，检测移动平台的位移量；任一位移检测装置包括一个弹性件和至少一组沿弹性件长度方向分布的应变片；微驱动器，连接移动平台，输出伸缩运动，驱动移动平台运动。本实用新型提出的一种微动平台，结构简单易于装配，输出刚度高，承载能力大；该平台上设置以应变片—弹性件作为位移检测装置，实时检测移动平台的位移，且该装置安装方便，易于集成，还能降低设备成本。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220568059U
(45)授权公告日2024.03.08
(21)申请号202322323368.9
(22)申请日2023.08.29
(73)专利权人合肥埃科光电科技股份有限公司
地
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