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本发明一种用于显示屏的酸性双氧水体系的蚀刻液添加剂，包括以下组分：PH调节剂，质量百分比为0.5%‑40%；复合表面活性剂，质量百分比为2%‑40%；超纯水，质量百分比为20%‑97.5%。一种用于显示屏的酸性双氧水体系的蚀刻液，包括添加剂和基础液，添加剂相对蚀刻液的质量百分比为0.05%‑5%，基础液包括草酸和水，草酸和水的质量百分比为（3%‑5%）:（95%‑97%）。一种用于显示屏的酸性双氧水体系的蚀刻液的制备方法，包括以下步骤：将质量百分比为20%‑97.5%的超纯水、质量百分比为0.5
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117660964A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311640053.5
(22)申请日2023.12.04
(71)申请人江苏晶久微电子材料有限公司
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