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本发明公开了一种用于大面积膜厚测量的姿态反馈与调整装置，包括膜厚仪、移动模块、姿态监测模块与姿态调整模块；所述膜厚仪和姿态调整模块分别安装在移动模块上，所述姿态监测模安装在膜厚仪上。本发明针对大面积连续扫描膜厚测量中膜厚仪姿态误差问题，通过监测反射光的偏移方向与光强强度，实时反映测试过程中测试装置随导轨机构移动时的姿态变化，通过每一测点位置膜厚仪的姿态调整，保证该测点处的膜厚测试精度；本发明通过光强传感器测试反射光斑的偏移，进而反馈膜厚仪的姿态误差；通过位移调节单元对膜厚仪的姿态误差进行调整，保
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117666629A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311647100.9
(22)申请日2023.12.04
(71)申请人大连理工大学
地址116024
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