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本申请实施例公开了一种集成光计算器件及其驱动方法,涉及光子集成芯片技术领域,用于提供一种新型可重构的集成光计算器件,根据不用应用条件调节结构参数,输出不同光信号强度,提高集成光计算器件的灵活适用性。所述集成光计算器件包括波导层和微机电驱动组件。波导层具有光栅结构区;所述光栅结构区包括多个条形波导和间隔相邻两个所述条形波导的空气槽。微机电驱动组件包括伸缩结构;所述多个条形波导分别与所述伸缩结构连接;所述伸缩结构沿所述多个条形波导的排列方向伸缩,调节所述空气槽沿所述多个条形波导排列方向的尺寸,调节所
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117666699A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311535600.3G02B26/02(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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