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本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种应用于AMHS系统的清洁机器人、及控制方法，本设计的清扫机器人的清扫组件包括第一维护部、第二维护部和采集部，所述第一维护部位于所述载体两侧，用于对轨道上大颗粒杂质进行收拢，所述第一维护部通过角度调节组件可活动设置于所述载体底部区域。实现了通过自动机器人运行在AMHS系统的导轨上对轨道进行清洁维护，同时自身能够根据用户指令选择不同的清洁模式；在第二维护部的后侧设置真空刮除组件对第二维护部的辊擦表面进行处理，避免杂质长期附着在辊擦上而降低擦拭效果。解决了常规适
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117654950A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311660164.2
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人华芯（嘉兴）智能装备有限公司
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