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氮气电容耦合射频辉光放电二维PICMC模拟研究的中期报告

中期报告

一、研究背景

氮气电容耦合放电已被广泛应用于激光器和等离子体应用中，由于其优良的电气性能和可调谐的击穿和放电参数。因此，对氮气电容耦合放电的研究一直是等离子体新领域的热点。

本项目旨在通过二维PICMC模拟研究氮气电容耦合射频辉光放电的非平衡等离子体特性和放电参数的影响因素。

二、研究内容及进展

1.建立模型

采用PICMC（粒子-蒙特卡洛）模型，进行等离子体特性研究。模型基本结构为一个矩形立方体，尺寸为(Lx,Ly,Lz)，其中Lx=Lz=40cm，Ly=30cm。模型中产生的等离子体束流的初始速度随机分布，电子密度为1E14-1E15m-3。电极材料为耐火材料，丝网电极为射频激励电极，电极内部的电子发射面积分别为5.0和1.5cm2。

2.模拟结果

根据模拟结果，我们得出了一些结论：

（1）在不同平均压力下，模拟的氮气电容耦合放电室内的等离子体参数分布。

（2）模拟结果表明，氮气电容耦合放电室内的电子温度、电子密度和电场分布对电压、气压和电极半径等因素敏感。

（3）通过对氮气电容耦合放电室内不同电极半径下等离子体参数分布的模拟研究发现，电极半径增加将对电子温度、电子密度和电场分布产生影响。

三、下一步研究计划

（1）根据模拟结果，进行实验验证，确定模型的可靠性和精度。

（2）进一步研究氮气电容耦合