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【测试表征系列之TEM】扫描电镜(培训资料).pdf

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    扫描电子显微镜

    第三章扫描电子显微镜

    1.扫描电镜的优点

    2.电子束与固体样品作用时产生的信号

    3.扫描电镜的工作原理

    4.扫描电镜的构造

    5.扫描电镜衬度像

    二次电子像

    背散射电子像

    6.扫描电镜的主要性能

    7.样品制备

    8.应用举例

    1.扫描电镜的优点

    •高的分辨率。由于超高真空技术的发展，场发射电子枪

    的应用得到普及，现代先进的扫描电镜的分辨率已经达

    到1纳米左右。

    •有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；

    •有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察

    各种试样凹凸不平表面的细微结构

    •

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