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2023年大直径硅单晶及抛光片项目规划设计方案.docx

2023年大直径硅单晶及抛光片项目规划设计方案.docx

    大直径硅单晶及抛光片项目规划设计方案

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    大直径硅单晶及抛光片项目规划设计方案

    目录

    TOC\h\z16923概论 3

    4707一、大直径硅单晶及抛光片项目文档管理 3

    2285(一)、文档编制与审查 3

    27807(二)、文档发布与分发 4

    13133(三)、文档存档与归档 5

    29410二、工艺说明 7

    32374(一)、技术管理特点 7

    11573(二)、大直径硅单晶及抛光片项目工艺技术设计方案 8

    23349(三)、设备选型方案 9

    22127三、产品规划分析 11

    31040(一)、产品规划 11

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