真空应用设备项目规划设计纲要
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真空应用设备项目规划设计纲要
目录
TOC\h\z31904概论 3
28668一、真空应用设备项目绩效评估 3
4715(一)、绩效评估指标 3
3079(二)、绩效评估方法 4
14636(三)、绩效评估周期 5
28097二、真空应用设备项目文档管理 6
15914(一)、文档编制与审查 6
23527(二)、文档发布与分发 8
2419(三)、文档存档与归档 8
4466三、工艺说明 10
6333(一)、技术管理特点 10
29043(二)、真空应用设备项目工艺技
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