TCCGA 电子级三氟化氯.pdfVIP

T/CCGAXXXX—XXXX

电子级三氟化氯

1范围

本文件规定了电子级三氟化氯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、贮存及安全

信息的要求。

本文件适用于以氟气和氯气为原料制备的三氟化氯产品，该产品主要用于半导体领域等。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T7144气瓶颜色标志

GB14193液化气体气瓶充装规定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB16804气瓶警示标签

GB/T26571特种气体储存期规范

GB27550气瓶充装站安全技术条件

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T32205气相色谱用热导检测器测试方法

GB/T32566不锈钢焊接气瓶

GB/T34972电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

TSG23气瓶安全技术规程

T/CCGA20006气瓶安全使用技术规定

3技术要求

三氟化氯应符合表1的要求。

表1技术要求

项目技术要求

三氟化氯(ClF)（摩尔分数）/10-2≥99.95

3

氟化氢(HF)（摩尔分数）/10-6400

氮(N)（摩尔分数）/10-640

2

氧(O)（摩尔分数）/10-610

2

氯气(Cl)（摩尔分数）/10-650

2

钾(K)（质量分数）/10-61

钙(Ca)（质量分数）/10-61

铁(Fe)（质量分数）/10-61

镍(Ni)（质量分数）/10-61

铜(Cu)（质量分数）/10-61

铬(Cr)（质量分数）/10-61

铅(Pb)（质量分数）/10-61

1

T/CCGAXXXX—XXXX

4试验方法

4.1抽样、判定和复验

4.1.1从同一来源稳定充装的电子级三氟化氯气体构成一批，并建立批次的定义规则，以便于产品追溯。

4.1.2三氟化氯产品应逐只检验氟化氢、氮、氧及氯含量，其他指标可按表2规定从每批产品中进行抽

样。

4.1.3取样应当符合GB/T6681中的相关规定，确保所取得样品的代表性。

4.1.4当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，应重新加倍随机抽样检验，仍有任何一项

指标不符合要