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一种应用于微型COC测试的系统.pdfVIP

一种应用于微型COC测试的系统.pdf

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    一种应用于微型COC测试的系统，涉及光通信及半导体芯片电子行业领域。所述系统底座上连接三轴耦合台，所述三轴耦合台上连接测试恒温台；所述光谱仪连接电脑，所述侧视CCD与俯视CCD连接系统底座，所述PIV扫描仪连接光谱仪，其温控接口连接测试恒温台；所述探针台1、探针台2上连接探针，所述探针连接电机控制器，所述探针连接PIV扫描仪的电接口；所述积分球、三轴耦合治具均连接于系统底座上，所述积分球连接PIV扫描仪，所述三轴耦合治具上连接测试光纤，所述测试光纤连接光谱仪。本实用新型体积小,集成化成度高，灵活

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220584339U

    (45)授权公告日2024.03.12

    (21)申请号202321883060.3

    (22)申请日2023.07.18

    (73)专利权人大连藏龙光电子

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