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本实用新型公开了一种CVD真空镀膜用主安装板,包括箱体,所述主安装板上端开设有安装槽,且安装槽内壁安装有放置料槽,所述支撑垫板下端边缘安装有电动推杆,且电动推杆下端与支撑架固定连接,所述箱体上端边缘开设有定位插槽,且定位插槽内壁插合安装有定位插块,所述定位插块之间固定连接有气压计,且定位插块外壁固定连接有密封扣块。该CVD真空镀膜用主安装板可以通过电动推杆带动主安装板和支撑垫板进行升降调节,并且方便通过密封圈和密封槽与箱体进行密封安装,而且主安装板方便通过拼接插块和拼接插槽与支撑垫板进行快速抽拉
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220579384U
(45)授权公告日2024.03.12
(21)申请号202321465893.8
(22)申请日2023.06.09
(73)专利权人昆山佳旭诚精密机械有限公司
地址
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