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本申请实施例提供一种含氟树脂及浸没式光刻胶，涉及光刻胶领域。本申请实施例中，含氟树脂含有具有含氟侧基的第一重复单元，以及结构通式为的封端基团，其中Rf1选自氟、三氟甲基、全氟乙基、全氟丙基、六氟异丙基、全氟丁基中的至少一种，n为不小于1的正整数。本申请实施例中的含氟树脂具有良好的自聚集性能，用做浸没式光刻胶的组分时，可以在固化的光刻胶膜表面形成一层均匀的植入式阻挡层，阻止光刻胶膜中的组分溶解于水中；而且本申请实施例中的含氟树脂在显影液中也容易除去。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117683157A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311450105.2
(22)申请日2023.11.02
(71)申请人张斌
地址100061北京
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