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STK周边气流控制

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洁净室STK周边气流控制方案

平板显示作为继汽车和大规模集成电路之后的第三个具有全球影响力的新型产业正在迅速的崛起，也是我国“十一五”和中长期科技发展的重点产业。国内液晶显示器（TFT-LCD，ShortforThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay）产业炙手可热。

在TFT-LCD组线技术中，除了成膜、曝光、刻蚀等工艺设备外，自动物料搬运系统（AMHS，ShorforAutomaticMaterialHandlingSystem）起到了非常重要的作用。其包含一系列组成部分，在不需要人为干预的情况下，这些组成部分可以完成在工厂储存物料和物料的搬运工作。AMHS的组成部分为：自动导航车（AGV），高空穿梭车（OHS），轨道航车（RGV），传送带和堆料机（Stocker）

根据业主提供的图纸，我们发现本厂房采用的是传送带和堆料机（Stocker）和高空穿梭车（OHS）相结合的自动物料搬运系统（AMHS）。在这种自动物料搬运系统中，Stocker担负了很多的物流传递任务。这种方式因具有更高的搬运效率而被广泛应用在目前的5代、6代和更高世代的TFT-LCD的工厂布局中。

为了更好的优化Stocker的气流效果，创建更好的洁净室Stocker搬运环境，提升其搬运能力及质量。本方案