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本发明涉及一种高稳定性MEMS微镜，包括镜面；支撑梁，与镜面两侧相连，并以锚点为基点，为镜面的转动提供支撑；垂直驱动梳齿对，其包括交错插接的定梳齿和动梳齿，动梳齿与镜面相连，并为镜面转动提供静电作用力；dummy梳齿对，其连接于垂直驱动梳齿对的两端，其结构包括dummy定梳齿和dummy动梳齿，dummy定梳齿和dummy动梳齿电极极性相同，在驱动时额外增加滑膜阻尼本发明结构紧凑、合理，操作方便，通过在垂直驱动梳齿对的两旁增加dummy梳齿对，dummy梳齿对的间隙要小于垂直驱动梳齿对的间隙，提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117687199A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311846126.6
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人无锡微视传感科技有限公司
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