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本实用新型提供一种硅片抛光机夹持装置。所述硅片抛光机夹持装置包括：箱体，所述箱体的顶部设置有工作台，所述工作台的表面开设有多个滑动槽，所述箱体内设置有平移机构，所述箱体一侧的表面开设通风口，所述箱体内设置有固定机构，所述箱体一侧的表面固定连接有操作器。通过平移机构，达到调节吸盘的目的，使得固定机构可以固定不同尺寸的硅片，也可以达到快速固定的效果，再通过固定机构，通过连接管将真空管和吸盘内的空气抽出，使得吸盘内为真空，从而将吸盘和硅片吸附在一起，达到夹持硅片的效果，且吸盘对硅片伤害小，便于对硅片进
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220575592U
(45)授权公告日2024.03.12
(21)申请号202321426364.7
(22)申请日2023.06.06
(73)专利权人杭州致甸工业有限公司
地址3
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