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本发明申请公开了一种封装方法,包括以下步骤:电镀步骤:将包封料钻孔暴露出导电柱,并在芯片引出端和暴露的导电柱处电镀布线层,实现电性连接和走向;预切割步骤:包封料将布线层包封,在切割道位置预切割去掉部分包封料,使得钻孔内布线层和导电柱部分被切割去除,剩余的侧面暴露在切割槽中;填充步骤:使用包封料填充切割槽,固化为完整整体;切割步骤:研磨暴露出导电柱底面并电镀出外焊脚,在切割道切割为产品单元,本申请预切割将部分布线层和导电柱的金属切割去除,可以在保证封装尺寸最小化的基础上,封装体侧面不暴露出内层金属
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117690812A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311801667.7
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人合肥矽迈微电子科技有限公司
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