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本发明提供了一种基于图像处理的晶圆片定位方法，包括：获取第一参考图像；第一参考图像表征了晶圆准确放置，采集到的晶圆的图像；根据第一参考图像、第一环宽值以及第一图像算法，得到第一矩阵位图；获取第一目标图像；第一目标图像表征了采集到的待测晶圆的图像；根据第一目标图像、若干参考法向量所在直线、第一环宽值以及第二图像算法，得到第二矩阵位图；根据第一矩阵法向量所在直线与第二矩阵法向量所在直线，比较目标边界线中的目标像素点与参考边界线中的对应的参考像素点在矩阵位图中的坐标，以得到比较结果；根据比较结果，确定
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117690845A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311603237.4G01B11/00(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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