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一种提高栅电极结合力的声表面波传感器的制备方法.pdfVIP

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  • 2024-03-13 发布于四川
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一种提高栅电极结合力的声表面波传感器的制备方法.pdf

    本发明属于电学传感器技术领域，具体涉及一种提高栅电极结合力的声表面波传感器的制备方法，包括以下步骤：将铌酸锂基片进行清洗，干燥后，得到预处理的铌酸锂基片；在预处理的铌酸锂基片上旋涂3510T型光刻胶，之后在100～120℃间进行的前烘处理；在前烘处理后的基片的光刻胶上进行光刻，之后进行曝光和显影处理；将显影处理后的基片在120～140℃进行后烘处理；在后烘处理后的基片中旋涂光刻胶的一面，磁控溅射铂金层；将磁控溅射处理后的基片慢慢升温至450～500℃进行热处理；去除热处理后基片中的光刻胶，以形成

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117686010A

    (43)申请公布日2024.03.12

    (21)申请号202311682303.1

    (22)申请日2023.12.08

    (71)申请人西安交通大学

    地址710049

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