原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种电荷反馈MEMS电容式传感器接口集成电路系统，属于加速度传感器领域。本发明针对现有电容式传感器的后级接口电路稳定性差的问题。包括时钟信号产生模块产生设定频率时钟信号输出给时序电路控制模块和驱动信号产生模块；驱动信号产生模块产生驱动方波信号施加到MEMS敏感机械结构和电荷放大器模块上；时序电路控制模块产生控制电荷放大器模块和相关双采样模块的开关控制信号，电荷放大器模块在电荷泄放复位相位下，相关双采样模块对电荷放大器模块输出的噪声进行采样；在电荷采样相位和反馈相位下，相关双采样模块对电荷放大器模
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117691989A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311701690.9
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人哈尔滨工业大学
地址15000
您可能关注的文档
最近下载
- 方剂配伍理论智慧树知到课后章节答案2023年下浙江中医药大学.docx VIP
- 数控编程与仿真实训(第5版)——电子全套PPT教学课件.ppt
- 沪教牛津版英语4A-M3U1-In-our-school：animal-school公开课课件.pptx VIP
- 急性荨麻疹-洞察与解读.pptx
- 融资分红合同协议.docx VIP
- 草莓状血管瘤血管瘤-洞察与解读.pptx
- 皮肤念珠菌病念珠菌病-洞察与解读.pptx
- 荨麻疹型药疹药疹-洞察与解读.pptx
- DB5305T 78-2022保山市牛油果园水肥一体化技术规程.docx VIP
- DB53_T 1089-2022鳄梨品种'哈斯'生产技术规程.docx VIP
文档评论（0）