一种恒温模块、微型传感器及制备方法.pdfVIP

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2024-03-13 发布于四川
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一种恒温模块、微型传感器及制备方法.pdf

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本发明公开了一种恒温模块、微型传感器及制备方法，涉及传感器技术领域，其技术方案要点是：基底；测温部，设置在基底正面，及加热部，设置在基底背面；其中，测温部分布在基底正面的边缘处，加热部均匀分布在基底背面。本发明在恒温模块部分，提供了一种双面排线的布线方式，即设置在基底正面与背面的测温部和加热部，该方式避免了加热部中的电流对周围测温部以及传感电阻信号的干扰，提高了恒温测试数据的准确性，其次，均匀排布在基底背面的加热部产生的热量不仅能够最快的传导至整个基底，还能同时保证整个基底温度的均匀性，进而提高

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117686110A

(43)申请公布日2024.03.12

(21)申请号202311716843.7C23C14/35(2006.01)

(22)申请日2023.12.

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