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2024-03-13 发布于四川
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一种入射式多节激发介质膜辅助垂直面发射激光器.pdf

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本发明公开了一种入射式多节激发介质膜辅助垂直面发射激光器，包括：衬底，为半导体材质；光增益单元和滤光单元，并且交错堆叠形成多节结构，堆叠布设的方向与衬底垂直；正极导电层；介质HR高反射膜单元；负极导电层；介质AR低反射增透膜。本发明采用介质HR膜取代半导体DBR反射滤光，规避了因InP器件材料低折射率差所造成的DBR厚度过大成本过高等问题，光学上采用入射型激光结构，用单DBR、长腔、多节、谱线窄、光出口处透射、高功率方案，解决了传统VCSELF‑P型激光结构的双DBR、短腔、单节、谱线宽、光出口

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117691458A

(43)申请公布日2024.03.12

(21)申请号202211079555.0

(22)申请日2022.09.05

(71)申请人合肥集芯光电有限公司

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