多晶铸锭生产工艺文件.docx

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多晶硅锭的生产流程

1.生产工艺流程

制造工艺流程图

工艺流程简述

坩埚喷涂:其目的是为了在铸锭的进程中,避开坩埚的杂质混入硅料。喷涂的Si3N4

粉起到一个隔离杂质和避开粘埚的作用。

坩埚烧结:此进程是为了使喷涂在坩埚内外表的Si3N4粉结实附着在坩埚上。多晶炉铸锭:将盛好硅料的坩埚放入多晶炉中,经高温熔化定向凝固铸锭。

反映副产物

生产进程中产生含Si3N4粉尘的空气,过滤除尘后排放大气;铸锭进程中排放的少量氩气,直接排放入大气;铸锭后产生的石英坩埚碎片作为废物处置。

多晶铸锭操作流程

目的

为了保证正确操作多晶硅铸锭炉,使铸锭进程标准、有效地进展,并确保铸锭成功。

适用范围

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