2023年化学气相沉积设备项目规划设计蓝图.docx

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化学气相沉积设备项目规划设计蓝图

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化学气相沉积设备项目规划设计蓝图

目录

TOC\h\z24097概论 3

30535一、产品规划分析 3

18581(一)、产品规划 3

22303(二)、建设规模 4

23059二、化学气相沉积设备项目选址可行性分析 5

25522(一)、化学气相沉积设备项目选址 5

29908(二)、用地控制指标 5

18205(三)、节约用地措施 7

20517(四)、总图布置方案 8

17048(五)、选址综合评价 9

23307三、市场分析、调研 11

14586(一)、化学

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