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本发明公开了一种高真空传输阀，包括：阀体组件，所述的阀体组件内部设置有阀腔，所述的阀腔内部设置有低附着率阀腔内密封面；阀板，设置在阀腔内部用于连通和切断阀门，所述的阀板与阀腔内密封面采用旋转倾向静密封；阀杆组件，与阀板连接并带动阀板进行轴向运动和倾向旋转运动，以实现连通和切断阀门的组件；驱动机构，与阀杆组件连接并驱动阀杆组件运动的机构，所述的驱动机构采用外置双驱式分段驱动机构。还公开了该高真空传输阀的启闭方法。该高真空传输阀，具有密封性能好，低颗粒度，低振动，稳定性高，使用寿命长，能够广泛应用于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117704092A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311735937.9H01L21/677(2006.01)
(22)申请日2023.12
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