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本发明属于半导体加工技术领域,具体涉及一种兼容式花篮夹持装置,包括两个夹棒、夹具以及驱动组件;驱动组件包括:横移机构,具有做水平横移的横移端;过度滑块,设置有凸轮槽口,过度滑块连接于横移机构的横移端;两个凸轮随动器,各凸轮随动器的一端滑动连接于凸轮槽口内,各凸轮随动器的另一端连接对应的夹棒;由横移机构带动过度滑块水平横移时,带动两个凸轮随动器上下摆动,进而带动两个夹棒上的夹具做相向夹持或向背松开动作。本发明将横移行程转化为上下摆动幅度,摆幅范围大大增加,可夹持不同规格的花篮需求,在多种结构的相互
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117712016A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311737321.5
(22)申请日2023.12.18
(71)申请人上海提牛科技股份有限公司
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