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一种抗辐照多层散热膜结构及其制备方法，属于半导体封装电子材料技术领域。结构包括顶层胶层、顶层及底层光学反射镜层、吸波层、底层胶层、形状记忆合金丝。顶层胶层位于散热膜的顶端，往底层方向依次是顶层光学反射镜层、吸波层、底层光学反射镜层、底层胶层；光学反射镜层的结构为：中间层为石英玻璃，在玻璃两面为银层；吸波层由碳纳米管层、纳米钴层、石英玻璃载体层组成；形状记忆合金丝分别粘接于吸波层的两端。所述方法包括光学反射镜层、吸波层、双光学反射镜层与吸波层一体化、多层散热膜、最终产品散热膜、形状记忆合金的粘接等
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117701171A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311673583.X
(22)申请日2023.12.07
(71)申请人贵州振华风光半导体股份有限公司
地
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